הדיוק של מיקרוסקופים אלקטרונים ואופטיים משתנה בהתאם לסוג ולעיצוב, כדלקמן:
דיוק של מיקרוסקופ אלקטרונים
מיקרוסקופ אלקטרונים חודר (TEM): נכון לעכשיו, דיוק הרזולוציה של מיקרוסקופ אלקטרונים חודר הצליח לפענח מבנים מתחת ל-0.2 מיקרומטר, ורזולוציית גבול הקוטב יכולה להגיע ל-0.1 ננומטר. לדוגמה, לכמה מיקרוסקופי אלקטרונים חודר טובים יש רזולוציה של 1.5 עד 2A (1A = 0.1 ננומטר), שיכולה לפענח כמעט את כל האטומים.
מיקרוסקופ אלקטרונים סורק (SEM): בדרך כלל מושגת רזולוציה מרחבית של 1 מיקרומטר מעוקב, אם כי הדיוק עשוי להשתנות בהתאם לסוג הציוד ולתנאי הצפייה.
דיוק של מיקרוסקופיית אור
מיקרוסקופיה אופטית כללית: רזולוציית הגבול שלה היא בדרך כלל כ-250 ננומטר, שהיא גבוהה פי מיליון מרזולוציית העין האנושית (0.25 מ"מ). עם זאת, ניתן לשפר משמעותית את הרזולוציה וההגדלה של מיקרוסקופיה אופטית באמצעות עדשות מדויקות וטכניקות אופטיות.
מיקרוסקופ אופטי מדויק: כגון מיקרוסקופ דיגיטלי אופטי, דיוק הרזולוציה שלו יכול להגיע ל-0.1 מיקרומטר, הגדלה של עד פי 5000. בנוסף, ישנם מכשירים אנליטיים מדויקים המבוססים על עקרון הפרעות אור לבן כגון מיקרוסקופ אופטי תלת-ממדי, שיכולים להשיג מדידת טופוגרפיה של פני השטח ברזולוציה תת-ננומטרית.
מיקרוסקופיה אופטית מיוחדת: כגון ננו-סקופיה אופטית עם דיוק מיקום של 2 ננומטר, כגון טכנולוגיית MINFLUX, המסמנת שמיקרוסקופיה ברזולוציה ננומטרית נכנסה רשמית לתחום המחקר של מדעי החיים.
זמן פרסום: 1 בנובמבר 2025

